Atomic Layer Deposition of Large-Area Polycrystalline Transition Metal Dichalcogenides from 100 °C through Control of Plasma Chemistry

© 2022 The Authors. Published by American Chemical Society.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Chemistry of materials : a publication of the American Chemical Society. - 1998. - 34(2022), 16 vom: 23. Aug., Seite 7280-7292
1. Verfasser: Mattinen, Miika (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Gity, Farzan, Coleman, Emma, Vonk, Joris F A, Verheijen, Marcel A, Duffy, Ray, Kessels, Wilhelmus M M, Bol, Ageeth A
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2022
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Chemistry of materials : a publication of the American Chemical Society
Schlagworte:Journal Article