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Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 26(2019), Pt 5 vom: 01. Sept., Seite 1782-1789
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| 1. Verfasser: |
Lin, Dakui
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Liu, Zhengkun,
Dietrich, Kay,
Sokolov, Andréy,
Sertsu, Mewael Giday,
Zhou, Hongjun,
Huo, Tonglin,
Kroker, Stefanie,
Chen, Huoyao,
Qiu, Keqiang,
Xu, Xiangdong,
Schäfers, Franz,
Liu, Ying,
Kley, Ernst Bernhard,
Hong, Yilin |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2019
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Journal of synchrotron radiation
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| Schlagworte: | Journal Article
electron beam lithography
fabrication
near-field holography
soft X-ray varied-line-spacing grating
spectrometer |
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