Unexpected dominance of vertical dislocations in high-misfit ge/si(001) films and their elimination by deep substrate patterning

Copyright © 2013 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 25(2013), 32 vom: 27. Aug., Seite 4408-12
1. Verfasser: Marzegalli, Anna (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Isa, Fabio, Groiss, Heiko, Müller, Elisabeth, Falub, Claudiu V, Taboada, Alfonso G, Niedermann, Philippe, Isella, Giovanni, Schäffler, Friedrich, Montalenti, Francesco, von Känel, Hans, Miglio, Leo
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2013
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Ge dislocations heteroepitaxy patterning semiconductors