Suchergebnisse

1

Evaluation of the X-ray/EUV Nanolithography Facility at AS through wavefront propagation simulations

von Knappett, Jerome B M
Veröffentlicht in: Journal of synchrotron radiation (2024)

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2

Depth-resolved compositional analysis of W/B4C multilayers using resonant soft X-ray reflectivity

von Rao, P N
Veröffentlicht in: Journal of synchrotron radiation (2019)

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3

Resist Materials for Extreme Ultraviolet Lithography Toward Low-Cost Single-Digit-Nanometer Patterning

von Ashby, Paul D
Veröffentlicht in: Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) (2015)

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