© 2015 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 27(2015), 38 vom: 14. Okt., Seite 5813-9
|
|---|
| 1. Verfasser: |
Ashby, Paul D
(VerfasserIn) |
|---|
| Weitere Verfasser: |
Olynick, Deirdre L,
Ogletree, D Frank,
Naulleau, Patrick P |
|---|
| Format: | Online-Aufsatz
|
|---|
| Sprache: | English |
|---|
| Veröffentlicht: |
2015
|
|---|
| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
|
|---|
| Schlagworte: | Journal Article
Hansen solubility spheres
atomic force microscopy
extreme ultraviolet lithography
photolysis
resists |
|---|