open access.
Détails bibliographiques
| Publié dans: | Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 31(2024), Pt 3 vom: 01. Mai, Seite 485-492
|
|---|
| Auteur principal: |
Knappett, Jerome B M
(Auteur) |
|---|
| Autres auteurs: |
Haydon, Blair,
Cowie, Bruce C C,
Kewish, Cameron M,
van Riessen, Grant A |
|---|
| Format: | Article en ligne
|
|---|
| Langue: | English |
|---|
| Publié: |
2024
|
|---|
| Accès à la collection: | Journal of synchrotron radiation
|
|---|
| Sujets: | Journal Article
extreme ultraviolet lithography
interference lithography
soft X-ray lithography
synchrotron beamline
wavefront propagation |
|---|