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Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 31(2024), Pt 3 vom: 01. Mai, Seite 485-492
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| 1. Verfasser: |
Knappett, Jerome B M
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Haydon, Blair,
Cowie, Bruce C C,
Kewish, Cameron M,
van Riessen, Grant A |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2024
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Journal of synchrotron radiation
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| Schlagworte: | Journal Article
extreme ultraviolet lithography
interference lithography
soft X-ray lithography
synchrotron beamline
wavefront propagation |
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