Depth-resolved compositional analysis of W/B4C multilayers using resonant soft X-ray reflectivity

W/B4C multilayers (MLs) consisting of ten layer pairs with varying boron carbide layer thicknesses have been investigated. The ML structures were characterized using grazing-incidence hard X-ray reflectivity (GIXR), resonant soft X-ray reflectivity (RSXR), hard X-ray photoelectron spectroscopy (HAXP...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 26(2019), Pt 3 vom: 01. Mai, Seite 793-800
1. Verfasser:	Rao, P N (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Goutam, U K, Kumar, Prabhat, Gupta, Mukul, Ganguli, Tapas, Rai, S K
Format:	Online-Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2019
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Journal of synchrotron radiation
Schlagworte:	Journal Article X-ray multilayers boron carbide composition extreme ultraviolet lithography optical index resonant reflectivity