© 2021 The Authors. Advanced Materials published by Wiley-VCH GmbH.
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 43 vom: 30. Okt., Seite e2102232
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| 1. Verfasser: |
Leitis, Aleksandrs
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Tseng, Ming Lun,
John-Herpin, Aurelian,
Kivshar, Yuri S,
Altug, Hatice |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2021
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Schlagworte: | Journal Article
CMOS compatibility
biosensing
deep ultraviolet lithography
free-standing membranes
high-throughput fabrication
metasurfaces
wavefront and polarization control
Aluminum
CPD4NFA903 |
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