A General Analytical Formulation for the Motional Parameters of Piezoelectric MEMS Resonators
This paper reports on a general analytical expression for the motional resistance ( ) of an arbitrary mode in a piezoelectric microelectromechanical system resonator with parallel plate electrode geometry. After applying simplifying assumptions and using analytical modes shapes, expressions for the...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 65(2018), 3 vom: 01. März, Seite 476-488
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| 1. Verfasser: |
Puder, Jonathan M
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Pulskamp, Jeffrey S,
Rudy, Ryan Q,
Polcawich, Ronald G,
Bhave, Sunil A |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2018
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
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| Schlagworte: | Journal Article |
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