Achieving Uniform Monolayer Transition Metal Dichalcogenides Film on Silicon Wafer via Silanization Treatment : A Typical Study on WS2

© 2016 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 29(2017), 7 vom: 30. Feb.
1. Verfasser: Chen, Ying (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Gan, Lin, Li, Huiqiao, Ma, Ying, Zhai, Tianyou
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2017
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article chemical vapor deposition silanization uniform films