© 2016 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 28(2016), 38 vom: 04. Okt., Seite 8439-8445
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| 1. Verfasser: |
Jeon, Hwan-Jin
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Kim, Ju Young,
Jung, Woo-Bin,
Jeong, Hyeon-Su,
Kim, Yun Ho,
Shin, Dong Ok,
Jeong, Seong-Jun,
Shin, Jonghwa,
Kim, Sang Ouk,
Jung, Hee-Tae |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2016
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Schlagworte: | Journal Article
block copolymers
high aspect ratio
high resolution
plasma reaction
secondary sputtering |
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