Complex High-Aspect-Ratio Metal Nanostructures by Secondary Sputtering Combined with Block Copolymer Self-Assembly

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Détails bibliographiques
Publié dans:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 28(2016), 38 vom: 04. Okt., Seite 8439-8445
Auteur principal: Jeon, Hwan-Jin (Auteur)
Autres auteurs: Kim, Ju Young, Jung, Woo-Bin, Jeong, Hyeon-Su, Kim, Yun Ho, Shin, Dong Ok, Jeong, Seong-Jun, Shin, Jonghwa, Kim, Sang Ouk, Jung, Hee-Tae
Format: Article en ligne
Langue:English
Publié: 2016
Accès à la collection:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Sujets:Journal Article block copolymers high aspect ratio high resolution plasma reaction secondary sputtering