The Patterning of Sub-500 nm Inorganic Oxide Structures

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Détails bibliographiques
Publié dans:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 20(2008), 14 vom: 17. Juli, Seite 2667-73
Auteur principal: Hampton, Meredith J (Auteur)
Autres auteurs: Williams, Stuart S, Zhou, Zhilian, Nunes, Janine, Ko, Doo-Hyun, Templeton, Joseph L, Samulski, Edward T, DeSimone, Joseph M
Format: Article en ligne
Langue:English
Publié: 2008
Accès à la collection:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Sujets:Journal Article embossing inorganic oxides patterning perfluoropolyether elastomers polymers soft lithography