The Patterning of Sub-500 nm Inorganic Oxide Structures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 20(2008), 14 vom: 17. Juli, Seite 2667-73
1. Verfasser: Hampton, Meredith J (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Williams, Stuart S, Zhou, Zhilian, Nunes, Janine, Ko, Doo-Hyun, Templeton, Joseph L, Samulski, Edward T, DeSimone, Joseph M
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2008
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article embossing inorganic oxides patterning perfluoropolyether elastomers polymers soft lithography