Ultra-thin 3D nano-devices from atomic layer deposition on polyimide

Ultra-thin 3D nano-devices from atomic layer deposition on polyimide

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 26(2014), 23 vom: 18. Juni, Seite 3962-7
1. Verfasser: Eigenfeld, Nathan T (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Gray, Jason M, Brown, Joseph J, Skidmore, George D, George, Steven M, Bright, Victor M
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2014
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. NEMS atomic layer deposition microbolometer nanofabrication polymers
Beschreibung
Beschreibung:Date Completed 22.04.2015
Date Revised 30.09.2020
published: Print-Electronic
Citation Status PubMed-not-MEDLINE
ISSN:1521-4095
DOI:10.1002/adma.201400410