Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 26(2014), 23 vom: 18. Juni, Seite 3962-7
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| 1. Verfasser: |
Eigenfeld, Nathan T
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Gray, Jason M,
Brown, Joseph J,
Skidmore, George D,
George, Steven M,
Bright, Victor M |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2014
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Schlagworte: | Journal Article
Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S.
NEMS
atomic layer deposition
microbolometer
nanofabrication
polymers |
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