Programmable mechanical resonances in MEMS by localized joule heating of phase change materials

© 2013 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 25(2013), 44 vom: 26. Nov., Seite 6430-5
1. Verfasser: Manca, Nicola (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Pellegrino, Luca, Kanki, Teruo, Yamasaki, Syouta, Tanaka, Hidekazu, Siri, Antonio Sergio, Marré, Daniele
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2013
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Joule heating adaptative electronics frequency tuning mechanical resonators vanadium dioxide