In situ monitoring of atomic layer deposition in nanoporous thin films using ellipsometric porosimetry

© 2012 American Chemical Society

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids. - 1992. - 28(2012), 8 vom: 28. Feb., Seite 3852-9
1. Verfasser: Dendooven, Jolien (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Devloo-Casier, Kilian, Levrau, Elisabeth, Van Hove, Robbert, Sree, Sreeprasanth Pulinthanathu, Baklanov, Mikhail R, Martens, Johan A, Detavernier, Christophe
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2012
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
Schlagworte:Journal Article