Résultat(s) 1 - 2 résultats de 2 pour la requête 'Levrau, Elisabeth', Temps de recherche: 0,36s Affiner les résultats
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    Atomic layer deposition of TiO2 on surface modified nanoporous low-k films

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    In situ monitoring of atomic layer deposition in nanoporous thin films using ellipsometric porosimetry
    Autres auteurs: “...Levrau, Elisabeth...”

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