Etching of Si(100)-2 x 1 with chlorine : Reaction pathways, energy anisotropies, and atomic-scale phenomena
| Veröffentlicht in: | Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 52(1995), 11 vom: 15. Sept., Seite 8288-8294 |
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| 1. Verfasser: | |
| Weitere Verfasser: | , , |
| Format: | Aufsatz |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
1995
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Physical review. B, Condensed matter |
| Schlagworte: | Journal Article |