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Design of experiment for optimization of plasma-polymerized octafluorocyclobutane coating on very high aspect ratio silicon molds
von
Yeo, L P
Veröffentlicht in:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2006)
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...
Yan
,
Y
H
...
”
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CF4 plasma treatment of poly(dimethylsiloxane) effect of fillers and its application to high-aspect-ratio UV embossing
von
Yan
,
Y
H
Veröffentlicht in:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2005)
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