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1
In Situ Infrared Absorption Study of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Silicon Nitride
von
Peña, Luis Fabián
Veröffentlicht in:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2018)
Weitere Verfasser:
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...
Nanayakkara
,
Charith
E
...
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2
Reaction Mechanisms of the Atomic Layer Deposition of Tin Oxide Thin Films Using Tributyltin Ethoxide and Ozone
von
Nanayakkara
,
Charith
E
Veröffentlicht in:
Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
(2017)
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