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AlN/3C-SiC composite plate enabling high-frequency and high-Q micromechanical resonators

von Lin, Chih-Ming
Veröffentlicht in: Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) (2012)

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2

Temperature-compensated aluminum nitride lamb wave resonators

von Lin, Chih-Ming
Veröffentlicht in: IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control (2010)

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