AlN/3C-SiC composite plate enabling high-frequency and high-Q micromechanical resonators

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 24(2012), 20 vom: 22. Mai, Seite 2722-7
1. Verfasser: Lin, Chih-Ming (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Chen, Yung-Yu, Felmetsger, Valery V, Senesky, Debbie G, Pisano, Albert P
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2012
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Aluminum Compounds Carbon Compounds, Inorganic Silicon Compounds aluminum nitride 7K47D7P3M0 Zinc Oxide SOI2LOH54Z silicon carbide WXQ6E537EW