Atomic Layer Deposition of Rhenium Disulfide

von Hämäläinen, Jani
Veröffentlicht in: Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) (2018)

Nucleation and Conformality of Iridium and Iridium Oxide Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition

von Mattinen, Miika
Veröffentlicht in: Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids (2016)

Atomic layer deposition, characterization, and growth mechanistic studies of TiO2 thin films

von Kaipio, Mikko
Veröffentlicht in: Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids (2014)

In situ quadrupole mass spectrometry study of atomic-layer deposition of ZrO2 using Cp2Zr(CH3)2 and water

von Niinistö, Jaakko
Veröffentlicht in: Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids (2005)