Treffer
1 - 4
von
4
für Suche '
'
Weiter zum Inhalt
VuFind
Merkliste
(Voll)
Hilfe
de
fr
Alle Felder
Titel
Verfasser
Schlagwort
Signatur
ISBN/ISSN
Tag
Suchen
Erweitert
Ähnliche Schlagwörter:
X-ray lithography
Bestand:
DHI Paris
Filter anzeigen (2)
Ähnliche Schlagwörter:
X-ray lithography
Bestand:
DHI Paris
Suchergebnisse
Ähnliche Schlagwörter innerhalb Ihrer Suche.
Ähnliche Schlagwörter innerhalb Ihrer Suche.
Journal Article
4
X-ray lithography
beamlines
2
Fresnel zone plate
1
MEMS
1
Research Support, Non-U.S. Gov't
1
carbon contamination
1
mehr ...
development rate
1
hard X-ray focusing
1
high-aspect-ratio structures
1
microfabrication
1
mirror reflectivity
1
oxidation
1
resist
1
weniger ...
Treffer
1 - 4
von
4
für Suche '
'
, Suchdauer: 2,54s
Treffer weiter einschränken
Sortieren
Relevanz
Nach Datum, absteigend
Nach Datum, aufsteigend
Verfasser
Titel
1
SyLMAND a microfabrication beamline with wide spectral and beam power tuning range at the Canadian Light Source
von
Wells, Garth
Veröffentlicht in:
Journal of synchrotron radiation
(2019)
Online-Aufsatz
Auf die Merkliste
Aus der Merkliste entfernen
2
Characterization of the surface contamination of deep X-ray lithography mirrors exposed to synchrotron radiation
von
Achenbach, Sven
Veröffentlicht in:
Journal of synchrotron radiation
(2018)
Online-Aufsatz
Auf die Merkliste
Aus der Merkliste entfernen
3
Direct nano-scale patterning of Ag films using hard X-ray induced oxidation
von
Kim, Jae Myung
Veröffentlicht in:
Journal of synchrotron radiation
(2015)
Online-Aufsatz
Auf die Merkliste
Aus der Merkliste entfernen
4
Beamline BL-07 at Indus-2 a facility for microfabrication research
von
Dhamgaye, V P
Veröffentlicht in:
Journal of synchrotron radiation
(2014)
Online-Aufsatz
Auf die Merkliste
Aus der Merkliste entfernen
Suchwerkzeuge:
RSS-Feed abonnieren
—
Diese Suche als E-Mail versenden
Suche einschränken
Bestand
Wird geladen...
Ladevorgang abgebrochen
Format
Wird geladen...
Ladevorgang abgebrochen
Verfasser
Wird geladen...
Ladevorgang abgebrochen
Erscheinungsjahr
Wird geladen...
Ladevorgang abgebrochen
Sprache
Wird geladen...
Ladevorgang abgebrochen
Dokumenttyp
Wird geladen...
Ladevorgang abgebrochen
Basisklassifikation
Wird geladen...
Ladevorgang abgebrochen
Wird geladen...