Study on Lapping Mechanism of Different Crystal Planes of Indium Phosphide : Molecular Dynamics Simulation and Experimental Verification
The unknown mechanism of lapping damage on different InP crystal surfaces constrains the device performance optimization. This study establishes a molecular dynamics (MD) model for nanoscale lapping of InP (100)/(110)/(111) surfaces using the Vashishta potential, combined with gradient lapping exper...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids. - 1985. - 41(2025), 35 vom: 09. Sept., Seite 23850-23866
|
|---|
| 1. Verfasser: |
Wen, Xiaoning
(VerfasserIn) |
|---|
| Weitere Verfasser: |
Deng, Jiayun,
Bai, Zilei,
Geng, Jiacheng,
Wei, Hua,
Liu, Hanbao,
Qiu, Feng,
Hui, Feng |
|---|
| Format: | Online-Aufsatz
|
|---|
| Sprache: | English |
|---|
| Veröffentlicht: |
2025
|
|---|
| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
|
|---|
| Schlagworte: | Journal Article |
|---|