Soft Sputtering of Large-Area 2D MoS2 Layers Using Isolated Plasma Soft Deposition for Humidity Sensors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - (2024) vom: 28. Nov., Seite e2414800
1. Verfasser: Youn, Hye-Young (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Choi, Tae-Yang, Shim, Junoh, Park, Se Young, Kwon, Min-Ki, Kim, Sunkook, Kim, Han-Ki
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2024
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article 2D isolated plasma layer‐controlled molybdenum disulfide respiration sensor wafer scale