Laboratory-based 3D X-ray standing-wave analysis of nanometre-scale gratings

© Ksenia Matveevskii et al. 2024.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied crystallography. - 1998. - 57(2024), Pt 5 vom: 01. Okt., Seite 1288-1298
1. Verfasser: Matveevskii, Ksenia (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Nikolaev, Konstantin V, Fallica, Roberto, Beckers, Detlef, Gateshki, Milen, Kharchenko, Alexander, Spanjer, Bart, Rogachev, Alexander, Yakunin, Sergey, Ackermann, Marcelo, Makhotkin, Igor A
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2024
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Journal of applied crystallography
Schlagworte:Journal Article X-ray standing waves grazing-incidence X-ray fluorescence laboratory metrology many-beam dynamical diffraction theory