Fabricating SU-8 Photoresist Microstructures with Controlled Convexity-Concavity and Curvature through Thermally Manipulating Capillary Action in Poly(dimethylsiloxane) Microholes
We present a simple, robust, and cheap microfabrication method, based on thermally manipulating capillary action in poly(dimethylsiloxane) (PDMS) microholes, for preparing SU-8 curved microstructures. The microstructure morphology including convexity-concavity and curvature can be controlled via tun...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids. - 1992. - 39(2023), 2 vom: 17. Jan., Seite 763-770
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| 1. Verfasser: |
Zhang, Qiushu
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Guo, Zhihao,
Ma, Zhinan,
Wang, Song,
Peng, Bei |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2023
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
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| Schlagworte: | Journal Article |
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