Enabling Durable Ultralow-k Capacitors with Enhanced Breakdown Strength in Density-Variant Nanolattices

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 35(2023), 6 vom: 01. Feb., Seite e2208409
1. Verfasser: Kim, Min-Woo (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Lifson, Max L, Gallivan, Rebecca, Greer, Julia R, Kim, Bong-Joong
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2023
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article density-variant nanolattice electrical breakdown electrical conduction mechanism mechanical deformation ultralow-k