Progress, Challenges, and Opportunities in Oxide Semiconductor Devices : A Key Building Block for Applications Ranging from Display Backplanes to 3D Integrated Semiconductor Chips

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 35(2023), 43 vom: 18. Okt., Seite e2204663
1. Verfasser: Kim, Taikyu (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Choi, Cheol Hee, Hur, Jae Seok, Ha, Daewon, Kuh, Bong Jin, Kim, Yongsung, Cho, Min Hee, Kim, Sangwook, Jeong, Jae Kyeong
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2023
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Review 3D devices back-end-of-line transistors field-effect transistors memory devices monolithic 3D integration oxide semiconductors synaptic devices