Large-Area Uniform 1-nm-Level Amorphous Carbon Layers from 3D Conformal Polymer Brushes. A "Next-Generation" Cu Diffusion Barrier?

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 34(2022), 15 vom: 15. Apr., Seite e2110454
1. Verfasser: Kang, Yun-Ho (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Lee, Sangbong, Choi, Youngwoo, Seong, Won Kyung, Han, Kyu Hyo, Kim, Jang Hwan, Kim, Hyun-Mi, Hong, Seungbum, Lee, Sun Hwa, Ruoff, Rodney S, Kim, Ki-Bum, Kim, Sang Ouk
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2022
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Cu diffusion barrier amorphous carbon carbonization polymer grafting