Structuring of Si into Multiple Scales by Metal-Assisted Chemical Etching
© 2021 Wiley-VCH GmbH.
Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 47 vom: 26. Nov., Seite e2005932 |
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Format: | Online-Aufsatz |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
2021
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Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) |
Schlagworte: | Journal Article Review Si bulk micromachining Si nanostructures mass transport metal-assisted chemical etching |
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