Structuring of Si into Multiple Scales by Metal-Assisted Chemical Etching

Structuring of Si into Multiple Scales by Metal-Assisted Chemical Etching

© 2021 Wiley-VCH GmbH.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 47 vom: 26. Nov., Seite e2005932
1. Verfasser: Srivastava, Ravi P (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Khang, Dahl-Young
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2021
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Review Si bulk micromachining Si nanostructures mass transport metal-assisted chemical etching
Online verfügbar Volltext