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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 6 vom: 15. Feb., Seite e2000769
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1. Verfasser: |
Zhang, Jia
(VerfasserIn) |
Weitere Verfasser: |
Tan, Biying,
Zhang, Xin,
Gao, Feng,
Hu, Yunxia,
Wang, Lifeng,
Duan, Xiaoming,
Yang, Zhihua,
Hu, PingAn |
Format: | Online-Aufsatz
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Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
2021
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Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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Schlagworte: | Journal Article
Review
chemical vapor deposition
electronics
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