Synthesis and Characterization of Tungsten Nitrido Amido Guanidinato Complexes as Precursors for Chemical Vapor Deposition of WNxCy Thin Films

Tungsten nitrido amido guanidinato complexes of the type WN(NR2)[(NR')2C(NR2)]2 (R = Me, Et; R' = i Pr, Cy) were synthesized as precursors for aerosol-assisted chemical vapor deposition (AACVD) of WNxCy thin films. The reaction of tungsten nitrido amido complexes of the type WN(NR2)3 (R =...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	European journal of inorganic chemistry. - 1998. - 2018(2018), 1 vom: 10. Jan., Seite 46-53
1. Verfasser:	Nolan, Michelle M (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Touchton, Alexander J, Richey, Nathaniel E, Ghiviriga, Ion, Rocca, James R, Abboud, Khalil A, McElwee-White, Lisa
Format:	Online-Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2018
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	European journal of inorganic chemistry
Schlagworte:	Journal Article chemical vapor deposition inorganic synthesis precursor design thin film tungsten