Atomic Layer Deposition for Membranes, Metamaterials, and Mechanisms

© 2019 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Détails bibliographiques
Publié dans:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 31(2019), 29 vom: 30. Juli, Seite e1901944
Auteur principal: Dorsey, Kyle J (Auteur)
Autres auteurs: Pearson, Tanner G, Esposito, Edward, Russell, Sierra, Bircan, Baris, Han, Yimo, Miskin, Marc Z, Muller, David A, Cohen, Itai, McEuen, Paul L
Format: Article en ligne
Langue:English
Publié: 2019
Accès à la collection:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Sujets:Journal Article NEMS atomic layer deposition kirigami metamaterials nanofabrication