© 2019 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 31(2019), 29 vom: 30. Juli, Seite e1901944
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| 1. Verfasser: |
Dorsey, Kyle J
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Pearson, Tanner G,
Esposito, Edward,
Russell, Sierra,
Bircan, Baris,
Han, Yimo,
Miskin, Marc Z,
Muller, David A,
Cohen, Itai,
McEuen, Paul L |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2019
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Schlagworte: | Journal Article
NEMS
atomic layer deposition
kirigami
metamaterials
nanofabrication |
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