SyLMAND : a microfabrication beamline with wide spectral and beam power tuning range at the Canadian Light Source
SyLMAND, the Synchrotron Laboratory for Micro and Nano Devices, is a recently commissioned microfabrication bend magnet beamline with ancillary cleanroom facilities at the Canadian Light Source. The synchrotron radiation is applied to pattern high-aspect-ratio polymer microstructures used in the are...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 26(2019), Pt 2 vom: 01. März, Seite 565-570
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| 1. Verfasser: |
Wells, Garth
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Achenbach, Sven,
Subramanian, Venkat,
Jacobs, Michael,
Klymyshyn, David,
Iyer, Swathi,
Moazed, Banafsheh,
Hanson, Jack,
Shen, Chen,
Haluzan, Darcy |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2019
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Journal of synchrotron radiation
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| Schlagworte: | Journal Article
MEMS
X-ray lithography
beamlines
microfabrication |
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