Crystallization dynamics and interface stability of strontium titanate thin films on silicon

Different physical vapor deposition methods have been used to fabricate strontium titanate thin films. Within the binary phase diagram of SrO and TiO2 the stoichiometry ranges from Ti rich to Sr rich, respectively. The crystallization of these amorphous SrTiO3 layers is investigated by in situ grazi...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of applied crystallography. - 1998. - 48(2015), Pt 2 vom: 01. Apr., Seite 393-400
1. Verfasser:	Hanzig, Florian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hanzig, Juliane, Mehner, Erik, Richter, Carsten, Veselý, Jozef, Stöcker, Hartmut, Abendroth, Barbara, Motylenko, Mykhaylo, Klemm, Volker, Novikov, Dmitri, Meyer, Dirk C
Format:	Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2015
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Journal of applied crystallography
Schlagworte:	Journal Article crystallization dynamics interface stability silicon substrates strontium titanate thin films