Metal-containing block copolymer thin films yield wire grid polarizers with high aspect ratio

© 2013 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 26(2014), 5 vom: 18. Feb., Seite 791-5
1. Verfasser: Kim, So Youn (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Gwyther, Jessica, Manners, Ian, Chaikin, Paul M, Register, Richard A
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2014
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. block copolymer lithography nanopatterning wire grid polarizer