Solvent-assisted directed self-assembly of spherical microdomain block copolymers to high areal density arrays

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 25(2013), 27 vom: 19. Juli, Seite 3677-82
1. Verfasser: Gu, Weiyin (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Xu, Ji, Kim, Jung-Keun, Hong, Sung Woo, Wei, Xinyu, Yang, Xiaomin, Lee, Kim Y, Kuo, David S, Xiao, Shuaigang, Russell, Thomas P
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2013
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. bit-patterned media block copolymers directed self-assembly nanodots solvent annealing Polymers Solvents