Facile encapsulation of oxide based thin film transistors by atomic layer deposition based on ozone

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 25(2013), 20 vom: 28. Mai, Seite 2821-5
1. Verfasser: Fakhri, Morteza (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Babin, Nikolai, Behrendt, Andreas, Jakob, Timo, Görrn, Patrick, Riedl, Thomas
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2013
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Gases Membranes, Artificial Metals Oxides