Organic vapor passivation of silicon at room temperature

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Copyright © 2013 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 25(2013), 14 vom: 11. Apr., Seite 2078-83
1. Verfasser: Yang, Rong (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Buonassisi, Tonio, Gleason, Karen K
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2013
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't
Online verfügbar Volltext