Polymerization inhibition by triplet state absorption for nanoscale lithography
Publié dans: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 25(2013), 6 vom: 13. Feb., Seite 904-9 |
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Format: | Article en ligne |
Langue: | English |
Publié: |
2013
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Accès à la collection: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) |
Sujets: | Journal Article |
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