Polymerization inhibition by triplet state absorption for nanoscale lithography

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 25(2013), 6 vom: 13. Feb., Seite 904-9
1. Verfasser:	Harke, Benjamin (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Dallari, William, Grancini, Giulia, Fazzi, Daniele, Brandi, Fernando, Petrozza, Annamaria, Diaspro, Alberto
Format:	Online-Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2013
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:	Journal Article

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