Tailored star block copolymer architecture for high performance chemically amplified resists

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 24(2012), 44 vom: 20. Nov., Seite 5939-44
1. Verfasser: Wieberger, Florian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Neuber, Christian, Ober, Christopher K, Schmidt, Hans-Werner
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2012
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Polymers