Investigations on AlN/sapphire piezoelectric bilayer structure for high-temperature SAW applications
This paper explores the possibility of using AlN/sapphire piezoelectric bilayer structures for high-temperature SAW applications. To determine the temperature stability of AlN, homemade AlN/sapphire samples are annealed in air atmosphere for 2 to 20 h at temperatures from 700 to 1000°C. Ex situ X-ra...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 59(2012), 5 vom: 25. Mai, Seite 999-1005
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| 1. Verfasser: |
Aubert, Thierry
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Elmazria, Omar,
Assouar, Badreddine,
Blampain, Eloi,
Hamdan, Ahmad,
Genève, Damien,
Weber, Sylvain |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2012
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
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| Schlagworte: | Journal Article |
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