Pattern shape control for heat treatment purification of electron-beam-induced deposition of gold from the Me2Au(acac) precursor

© 2012 American Chemical Society

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids. - 1992. - 28(2012), 14 vom: 10. Apr., Seite 6185-91
1. Verfasser: Riazanova, Anastasia V (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Rikers, Yuri G M, Mulders, Johannes J L, Belova, Lyubov M
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2012
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
Schlagworte:Journal Article